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八氟環(huán)丁烷 （C4F8)
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項目名稱 |
純度指標（%） |
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八氟環(huán)丁烷 |
≥99.999 |
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雜質含量（ppm) |
氟化氫（HF） |
≤1 |
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水（H2O） |
≤2 |
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氮氣（N2） |
≤1 |
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氧氣（O2） |
≤3 |
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其他氟化物（Other Fluoride） |
≤5 |
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包裝：采用44L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到2-8L的氣瓶中。
用途：用作半導體生產工藝中的蝕刻或清潔氣體、制冷劑等。
理化性質: 八氟環(huán)丁烷(C-318)是一種無色無味不可燃的氣體。沸點:-5.85℃,熔點:-41.4℃,液體密度(25℃):1.62g/cm3。
注意事項：
鋼瓶閥門關緊后再蓋緊悶頭和鋼瓶蓋，以防泄漏。鋼瓶運輸中應避免震蕩，鋼瓶堆放在通風、干燥、安全處，并遠離熱源。當該產品濃度達到使空氣中的氧含量減少至低于19.5%是,會導致窒息;救援人員要佩帶自給式呼吸器;接觸該產品會導致凍傷。
